华海清科（北京）科技获得夹持组织以及晶圆清洗设备专利对机械手横向行程差错的容忍度明显进步：

　　国家知识产权局信息数据显现，华海清科（北京）科技有限公司获得一项名为“夹持组织以及晶圆清洗设备”的专利，授权公告号CN223612410U，请求日期为2024年12月。

　　专利摘要显现，本发明公开了一种夹持组织以及晶圆清洗设备，夹持组织包含多个用于夹持晶圆的夹持组件，所述夹持组件包含驱动部以及夹持部，所述夹持部设置于支撑台上，驱动部坐落夹持部下方用于驱动夹持部的夹爪摇摆；多个所述夹持组件在支撑台的周向上均匀分布，多个夹持组件两两相对设置构成多个夹持组；多个夹持组存在至少两个夹爪摆角规模。选用上述技能计划，克服了现存技能中经过机械手送进晶圆进程中晶圆简单被夹爪顶住的缺点，对机械手横向行程差错的容忍度明显进步，然后可以更好地习惯实在的操作中的误差，保证了夹持进程的顺利性，提升了作业功率。

　　天眼查资料显现，华海清科（北京）科技有限公司，成立于2019年，坐落北京市，是一家以从事科技推广和使用服务业为主的企业。企业注册资本15000万人民币。经过天眼查大数据分析，华海清科（北京）科技有限公司参加招投标项目77次，专利信息113条，此外企业还具有行政许可9个。

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